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第五十二章 追光行动(2)

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对准系统七个子系统。

光刻机性能的三大评价指标是分辨率、套刻精度、和产率,这是一整套极严苛的环境控制、整机控制以及整机软件分析系统。

可以说光刻机的每一个子系统都在挑战人类工程的极限。”

他惋惜的叹了口气,“我的意思是,只有这套图纸,是不够的。我们差的……不是一点半点,甚至很多领域,我们的现状是近乎为零。

坦率的说,给我图纸,给我一年半载,我能造出来,但没法用,你明白吗?”

卿云闻言并没有什么气馁的神色。

很正常,毕竟这群老头老太太们,不是和他一样都是重生的。

他们一直在争气,却没那个解气的经历。

徐端颐望着他,神色复杂的说着,“小卿,追光……光喊口号是没用的。技术、工艺受限,单单突破一点,是没用的。”

云帝闻言,眼神毫不躲闪的,淡淡的说着,“老爷子,我明白的。我虽然年轻,但也没那么天真。”

这个过程,他太清楚了。

华国的第四代光刻机,最初便是如此。

07年我们便达到了90nm,只是光学系统拉胯,别人见你做出来了,直接不卖配件让我们没法量产,直到十年后在国内各参与方通力合作才解决。

虽然那是干式光刻机,对光学系统进口依赖严重,但当前的现状就是就算走浸没式,同样也会被别人封锁。

因为正如徐端颐所言,很多领域就是一片空白,只能依赖进口。

不过……

云帝此时却笑了笑,“老爷子,这就是我们今天坐在这里来商讨的意义所在。

我们今天讨论的纲领,就是从源头来解决这一切的。”

说罢,他又打开了投影仪。

此时的幕布上面,光刻机器七大子系统赫然出现在PPT中,甚至每个子系统又拆分成不同的细分系统。

上面的绿色标明了哪些部件是可以国产的,而黄色部分则是哪些部件是现有技术下可以解决的,如光源,以前没有,是国内没人造光刻机,现在有人要造要用,自然是可以解决的。

毕竟,论到玩激光,华国才是祖宗。

甚至,单从光源来说,成创天院士的研发的KBBF晶体可以反向卡欧美的脖子,没有这玩意儿,根本就没有EUV光刻机。

而这个晶体,成创天院士以一己之力硬生生的卡了欧美15年的脖子。


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