意义的步进式光刻机DSW4800。这款光刻机使用波长436纳米的g线作为曝光光源。镜头则是永宁蔡司的S-Planar 10/0.28。
DSW的分辨率可达1微米,可以将电路刻到100毫米见方的区域,这是前所未有的突破。
这台光刻机在当时的价格为130万元,说是天价也并不过分,但更高的良率,更先进的制程,更高的芯片性,不仅让sEA的企业他的用户,还吸引了西门子、IBM,、美国国家半导体等都成为了永宁蔡司的客户。
尽管美国也有同类的光刻机,但是sEA的高性能的光刻机,其稳定性和自动化程度更加优异。所以永宁蔡司占据着全球70%以上的市场。
就是靠着这一款跨时代的光刻机,才在真正意义上敲开了电子时代的大门。
“光刻机……最关键的还是光刻机呀。”
李毅安自言自语道。
正是因为在另一个世界有过被卡脖子的经历,所以在研究光刻机上,李毅安一直都是非常用心的。
尽管对于这一领域,他是一个外行,但是靠着系统赋予的技能,光刻机的研究上,他确实给予了很大的指导作用。
走到桌边,李毅安又一次翻开了那份报告,翻到光刻机的内容,看着对光刻机的发展规划。
李毅安自言自语道。
“这种步进式光刻机还有进一步研究的潜力……”
并不仅仅只是潜力。事实上,直到90年代,所有的芯片都是由这种不经时光刻机所生产的,
但是最终他还是淘汰了,因为摩尔定律。随着芯片制程的不断缩小,晶体管密度按照摩尔定律每18个月倍增加。这意味着需要更加优良的光刻机。
在长达20年的时间里,基于透镜组的步进式光刻机,都可以满足这一需要。通过不断对光源以及生产工艺的改进他甚至可以生产几微米的芯片。
直到21世纪初,采用极紫外光源上的EUV光刻机问世,完全颠覆了所有的仪器。
而EUV光刻机的发明,可能是当时人类科技领域所到达的最高峰,这是人类突破艰难科技问题、花费巨额研发资金才孕育出的智慧结晶。
他的发明可以说是汇集了整个西方世界在这一领域内的最先进技术。
“sEA能够凭借自己的力量研制出这种光刻机吗?”
发出这个问题的时候,李毅安虽然是满怀期待的,内心同样也是有些急切的,虽然
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