机,但我们没有这个条件,这就需要在光掩膜版上下功夫,将原本完整的电路图案给拆开,分为阴阳互补的两块或者四块,这样就得到了两份56纳米间隔的电路图案。”
“单次曝光是56纳米,48纳米制程光刻机的精度和分辨率是不是就可以进行生产作业了?”
“这就是多重曝光技术。”
林天宛如老师给学生上课,教得特别仔细,并且还实操演示了一遍多重曝光技术全过程。
首席工程师杨方才,以及其他光刻工程师都看呆了。
这是什么天才想法?
设备不够,工艺来凑!
怪不得龙芯国际能够生产14纳米轻舟芯片,原来它们学会了多重曝光技术。
姗姗来迟的陈永听着林天的无私授课,快步来到陈星面前道:“陈老弟,这次真的太感谢你了。”
虽说两人都穿着防尘服,看不见具体样貌,但身处听课工程师人群的外围,很容易就能猜到彼此的身份。
陈星听见是陈永声音,露出抹微笑回应道:“都是国产联盟的,我们就不需要这么客气了,这段时间还要借用老哥你的光刻机呢。”
“哈哈,是我太见外了。”陈永点了点头,随即继续说道:“陈老弟想用多久用多久,如果有需要的话,我给你也搞两台回来。”
“陈老哥的好意我心领了,这个以后再谈吧。”
陈星婉拒道。
花1亿多买48纳米光刻机,他可没有那么多钱,他宁愿拿去投资光刻工厂。
不过光刻工厂属于绝密,他也没什么都往外说。
国产联盟虽好,但人心隔肚皮,要是利益足够大,谁也说不准会不会出现老鼠。
见陈星婉言相拒,陈永也是个聪明人,没有再多说什么,两人静静地等待芯片产出。
半小时后。
一位光刻工程师拿着封装好的开天基带芯片,快步来到陈永和陈星面前道:
“成了,是28纳米的!”
“检测清楚了吗?”
陈永连忙追问。
如果芯片真是28纳米,那就说明多重曝光技术是真的,他的光刻机变废为宝了!
“是28纳米的!”
“切割裸片良率怎么样?”
“95%!”
“我们工程师操作的呢?”
“这个的话…”
这位工程师欲言又止,陈永今天心情大好
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