也就是微聚束。
通过这种微聚束，能在激光波长及其高次凯波上辐射出高强度窄带相干光。
稳态微聚束光源把同步辐射，和自由电子激光结合起来。
可以得到高功率高亮度高重频，且窄带宽的光源。
并且波长可调。
借助这种特性，完全能代替高端光刻机的深极紫外光源。
甚至就连下一代波长6纳米的光源都能达到。
且不需要同步辐射的滤光器。
凭借这些优点和特性，显然是非常适合EUV光刻。
还能称得上是简单粗暴。
不过稳态加速器光源价格比较昂贵，体积上更是大的惊人。
如果真能够实现的话，恐怕都不能再用光刻机来称呼形容，而是直接变成了光刻工厂。
但从另外一方面来说，这种做法不同于阿麦斯的极紫外光刻机，很多专利问题都能够避免，其可行性还是比较高的。
要知道关于稳态微聚束的验证，先前赵翔团队已经完成相关实验。
既然国产极紫外光刻机的研发工作，目前根本就看不到希望，不知道要多长时间才能追上国际水平，那么有了新的思路肯定要积极实验。
毕竟真能成功的话，效率惊人且庞大的光刻工厂。
不但能彻底解决眼下半导体领域的困境，甚至全球的芯片制造市场都能拿下来。
到时间说不定光刻机都会逐渐被淘汰掉。
……
虽然不知道白新周让他参加这场会议的目的，但既然心里面有了想法，肯定不能这时候还憋在心里不说。
何况他也只是提供一种新的思路，究竟会不会具体展开研究还需要讨论。
于是念头停留在这里，他果断举起了自己的手。
台上白新周面对这样的会议结果，说实话心里面是有些遗憾失望的。
主要继续按部就班的研发下去，确实看不到国产极紫外光刻机诞生的希望。
如果是以前那还好说，起码有比较充足的时间，来用于研究。
可现在面对这样一个局面，耽误的时间越长，在5G领域上还海外的差距也会变得越大。
有可能先前好不容易所积攒的优势，也会因为这次失利变得减退。
而正当他为此忧虑的时候，眼角余光却突然瞥到了台下徐源的动作。
顿时心中一喜。
以他对徐
本章未完，请点击下一页继续阅读！