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第二百一十二章 请先生赴死!

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率与光源波长成正比,想要制造出更小的尺寸,就需要缩短光源的波长,这也是光刻机世代演变的核心。

所以,你不管怎么折射,最终还是要通过光源的波长来解决问题。”

熟知后事的卿云很清楚,程进说的是对的。

浸入式、浸没式、浸润式,其光源都是193nm激光器,随后是根据瑞利公式的另一个参数:孔径,来实现精度的提高。

再之后,便是二次曝光技术,同样是基于193nm的光源。

而最终,在DUV后,ASML还是走了波长13.5nm的EUV路径。

但那是十来年后的事情了。

彼时的ASML已经一家独大,它的领先优势可以随意切换赛道,但此时的光刻机市场却并非如此。

此时还是群雄混战时期,谁先突破,便是赢家通吃。

ASML与尼康佳能的光刻机之战,其实是一个弱者在走投无路之下,抱着‘光脚的不怕穿鞋的’的赌命心态进行绝地突围的故事。

ASML能赢,并不在于林本坚的技术有多先进,而是在于林本坚给出了一个商业友好性极强的工艺方案。

在 ASML推出浸入式 193nm产品的半年后,尼康也宣布自己的 157nm产品以及 EPL产品样机完成。

然而,林本坚的浸入式属于小改进大效果,产品成熟度非常高,所以几乎没有人去订尼康的新品。

而半导体产品就是这样的特点,市场说了算。

赢得了市场,赢得了迭代的机会。

他想了想,还是耐心说道,“老师,您知道,我是一个商人。所以我习惯用商业的角度来看待问题。”

拿起矿泉水抿了一口,卿云继续说着,“您说,从投入……或者说对当前工艺的改进角度看,走157nm还是走浸入式193nm容易?”

程进茫然的看着他,摇摇头表示不知道,“但是技术路径就在摆着啊,科研是要攻坚克难的。”

卿云见状也只能无奈的耸了耸肩膀,“科研是科研的事,但作为一个企业家,我告诉你,我肯定选容易的。

有钱有市场我能继续出钱让科研研究下去,没钱我啥事都做不了。”

程进闻言嘶了一声,他好像明白了点。

卿云哂然一笑,“我们想要追赶别人,最好的法子是什么?”

“弯道超车?”

程进嗤笑了一声,他表示,这个口


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